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四川省某半導體企業超純水項目介紹

  半導體行業在生產的時候需要大量的清洗水,隨著半導體工業的不斷發展,對清洗水的電導性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來越嚴格。由于半導體用超純水對多項指標的高要求,所以在半導體行業,超純水不同于其他行業對水的要求,半導體行業對超純水有嚴格的水質要求。

  在半導體生產工藝中,硼是P型雜質,過量會使n型硅反型,對電子、空穴濃度有影響。因此在超純水行業中,要充分考慮硼的脫除?!禨tandard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)標準中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達到更低的指標,勢必會提升半導體的性能。

  萊特萊德超純水設備能夠連續穩定的制備品質優良的超純水,不會因為樹脂再生而停止運行,設備結構設計相對靠緊,所以其占地較小,可以為企業節省很多空間,工業用超純水設備在出廠前均需進行裝置調試,所以設備故障幾率較小,日常保養、維修等操作都十分簡單。目前,超純水設備已在諸多項目在運行,應用優勢顯著。

  萊特萊德超純水設備應用于某半導體企業

  一、項目名稱:四川省某半導體企業超純水項目

  二、項目地址:四川省

  三、執行標準

  《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)

  《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)

  四、項目工藝:

  Huncotte系統選用核子級樹脂,通過獨有的靶向離子交換樹脂,能夠有效控制系統出水的硼離子含量,硼離子含量通過IPC-MS檢測,硼離子出水≤0.005μg/L遠遠小于ASTM-D5127-13標準中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。相信更優質的超純水,可以給半導體帶來更好的性能,給半導體企業帶來更強的優勢。

  萊特萊德長年致力于水處理設備的開發、研制和生產,積累了豐富的水處理技術制造經驗,擁有專業的加工設備,齊全的檢測手段,完善的質保體系以及合理的售后服務。

技術資料

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